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      超精密光學技術
      亞微米精度機械加工與檢測

      為支撐超精密光機結構設計與實現,團隊開展高精度車削加工、磨削加工、電火花放電加工、光學元件高精度定心加工等關鍵技術與工藝的研究工作;建立了超精密機械加工制造平臺,擁有各類高精度加工設備近20臺套。依托該平臺,針對物鏡研制開發了專門的組合加工工藝。物鏡鏡框的加工精度:平面度優于0.8μm,平行度優于1.2μm;物鏡隔圈的加工精度等厚值優于0.6μm。


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      超精密車削的最大加工口徑1000mm,加工精度在0.5μm~2μm以內,通過切削力監測、在線高精度非接觸測量等,積累了豐富的加工工藝參數庫,可精密加工不同材質、不同硬度的零件,表面光潔度達Ra 0.1μm,可以取代傳統磨削加工。典型應用主要包括大尺寸高精度軸承環、高精度模具、大尺寸高精度盤類零件等。

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