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      高端光學檢測產品
      標準鏡頭

      標準鏡頭是菲索干涉儀的核心部件,是面形檢測的基準,其面形及波前質量直接決定了光學元件面形的測量精度。本公司的標準鏡頭系列產品主要面向納米級的光學元件檢測,并已在國家科技重大專項——02專項的曝光光學系統研制任務中得到應用。

      標準鏡頭


      特性描述                                       

      高精度:λ/20、λ/30及更高

      全口徑:2英寸、4英寸、6英寸、12英寸

      可定制:匯聚及發散鏡頭的各F數定制




      規格參數

          4 inch 標準鏡系列

      入瞳直徑

      100mm(4“ )

      工作波長

      632.8nm

      型號

      CNEPO Datum TS04HXXA

      TF04HA

      F數

      F0.75

      F1.5

      F2.2

      F3.3

      F5.0

      F57.1

      F11

      TF

      0.75

      1.5

      2.2

      3.3

      5.0

      7.1

      11.0

      /

      參考面曲率半徑(mm)

      48

      121

      195

      298

      470

      682

      1086

      凸面的最大測量口徑(mm)

      65

      93

      89

      89

      94

      98

      98

      平面

      凸面的最大測量半徑(mm)

      45

      115

      190

      282

      465

      674

      1078

      平面

      波前誤差(PV)

      ﹤1.5λ

      ﹤1.5λ

      ﹤1.0λ

      ﹤1.0λ

      ﹤1.0λ

      ﹤0.5λ

      ﹤0.5λ

      ﹤0.2λ

      參考面精度(PV)

      λ/10、λ/20、λ/40

      參考面材料

      熔石英

      參考面反射率

      ~4%

      工作溫度

      22℃±8℃

      接口

      Zygo@bayonet style(也可定做其他接口)

          6 inch 標準鏡系列

      入瞳直徑

      152mm(6“ )

      工作波長

      632.8nm

      型號

      CNEPO Datum TS06HXXA

      TF06HA

      F數

      F0.8

      F1.1

      F2.2

      F3.5

      F5.4

      F7.2

      F11

      TF

      0.8

      1.1

      2.2

      3.5

      5.4

      7.2

      11.0

      /

      參考面曲率半徑(mm)

      80

      123

      290

      476

      776

      1045

      1600

      凸面的最大測量口徑(mm)

      104

      128

      164

      164

      164

      164

      155

      平面

      凸面的最大測量半徑(mm)

      77

      118

      274

      458

      761

      1022

      1590

      平面

      波前誤差(PV)

      ﹤1.5λ

      ﹤1.0λ

      ﹤0.5λ

      ﹤1.0λ

      ﹤0.5λ

      ﹤0.5λ

      ﹤0.5λ

      ﹤0.2λ

      參考面精度(PV)

      λ/10、λ/20、λ/40

      參考面材料

      熔石英

      參考面反射率

      ~4%

      工作溫度

      22℃±8℃

      接口

      Zygo@bayonet style(也可定做其他接口)

      CNEPO Datum TS06H2.2A 標準鏡測試結果

      CNEPO Datum TS06H2.2A 鏡頭測試結果


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